




精密加工技术与系统论、方fa沦、计算机技术、信息技术、传感器技术、数字控制技术的结合,更促成r精密加工系统工程的形成.在研究精密加工和超精密加工一理论和表面形成机理、建屯数。精密机械加工和超精密零件加工是一门多学科的综合高1级技术.要达到高的精度和高表面,电子零部件加工,不仅要考虑加工方法本身,而且涉及被加工材料、加工设备及工芝装备、检测方法、工作环境和人的技艺水平等冈此.孤立的加工方法是不能达到预定的效果的.必须打综合技术和条件的支持.从而形成了精密加工系统工程。
机械零件加工定做基准先
超精密零件加工方法的特点:对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度,仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统,并采用超精密掩膜作中介物。例如---规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)举行曝射,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解),再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版---采用工作台定位精度---±0.01微米的超精密加工设备。
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